میکروسکوپ الکترونی پرتاب با وضوح فوق العاده بالا Regulus
مدل های فعلی SU8240، SU8230، SU8220 و SU8010 دوباره ادغام شدند و به Regulus 8240، Regulus 8230، Regulus 8220 و Regulus 8100 مشتق شدند.
سری Regulus عملکرد مشاهده و تجزیه و تحلیل از مدل های موجود را به ارث برده است و مجهز به تفنگ الکترونیکی پرتاب میدان سرد کم سر و صدا سری SU8200 است.*1می تواند جریان پایدار بالایی داشته باشد.
با بهینه سازی سیستم نوری الکترونیکی، وضوح Regulus 8240/8230/8220 در شرایط 1 کیلوولت به 0.7 نانومتر و وضوح Regulus 8100 به 0.8 نانومتر افزایش یافت.
علاوه بر این، برای استفاده کامل از وضوح فوق العاده بالا، میزان بزرگ سازی از یک میلیون برابر گذشته به دو میلیون برابر افزایش یافته است.*1.
Regulus 8240/8230/8220/8100 همچنین قابلیت پشتیبانی کاربر را بهبود می بخشد که به کاربران کمک می کند تا اصول تشخیص سیگنال های پیچیده را درک کنند و به کاربران کمک کنند تا از بهترین عملکرد ابزار استفاده کنند.
- *1
- دستگاه Regulus 8240/8230/8220
-
ویژگی ها
-
مشخصات
ویژگی ها
- تفنگ الکترونیکی سری SU8200*2
- استفاده از منطقه پایدار روشنایی بالا که پس از فلاش ظاهر می شود به عنوان یک منطقه برای مشاهده پایدار، بهترین عملکرد را برای مشاهده و تجزیه و تحلیل با وضوح بالا در شرایط ولتاژ شتاب پایین فراهم می کند
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - استفاده از انبار نمونه های آلودگی کوچک و با خلاء بالا
- استفاده از فیلتر انرژی (اختیاری) برای مشاهده کنتراست اجزای مختلف*2
مشاهده با وضوح بالا در ولتاژ فرود بسیار پایین

نمونه: ذرات طلا
ولتاژ فرود: 10 V
مشاهده با وضوح فوق العاده بالا

نمونه: کاتالیزور Pt
ولتاژ شتاب: 30 kV
تجزیه و تحلیل EDX با وضوح بالا در ولتاژ شتاب پایین

نمونه: توپ Sn
ولتاژ فرود: 1.5 kV
- *2
- دستگاه Regulus 8240/8230/8220
مشخصات
| پروژه | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| وضوح الکترونیکی دوم | 0.7 nm (ولتاژ شتاب 15 کیلو ولت) 0.8 nm (ولتاژ فرود 1 kV)*3 |
0.6 نانومتر (ولتاژ شتاب 15 کیلوولت) 0.7 نانومتر (ولتاژ فرود 1 کیلو ولت)*3 |
|||||
| ولتاژ فرود | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
| بزرگسازی | 20 تا 1,000,000 بار*4 | 20 تا 2,000,000 بار*4 | |||||
| نمونه | کنترل نمونه | موتور سه محور (موتور پنج محور اختیاری) | موتور 5 محور | ||||
| محدوده حرکت | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
| Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5~70° | ||||||
| Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
| بازتولید پذیری | - | - | - | زیر ±0.5 μm شامل ±0.5 μm | |||
- *3
- مشاهده در حالت کاهش سرعت
- *4
- بزرگکاری بر اساس فیلم 127 × 95 میلی متر
دسته بندی محصولات مرتبط
- سیستم پرتو یون متمرکز (FIB/FIB-SEM)
- دستگاه پیش پردازش نمونه TEM/SEM
