اعضای VIP
کنترل کننده جریان توده دیجیتال HORIBASTEC-Z512MGX
کنترل کننده جریان توده دیجیتال HORIBASTEC-Z512MGX
جزئیات محصولات
خلاصه
جریان سنج جرم یک قطعه بسیار مهم در تجهیزات تولید نیمه هادی است. ثبات کار آن اغلب عامل کلیدی موفقیت و شکست فرآیند نیمه هادی است.
HORIBA STEC, به عنوان یک تولید کننده جریان سنج با بیش از 35 درصد سهم بازار جهانی*1، به طور مداوم محصولات با کیفیت بالا و چند منظوره را برای صنعت نیمه هادی ارائه می دهد. در حال حاضر، با استفاده از فناوری های جدید، HORIBA STEC یک نوع جدید کنترل کننده جریان جرم را در سراسر جهان معرفی می کند: سری Z500.
در مقایسه با مدل های قدیمی، سری Z500X پیشرفت جدیدی را به دست آورده است که آینده فناوری کنترل جریان را تغییر خواهد داد. همزمان با ارائه تمام قابلیت های مورد نیاز مشتری برای کنترل جریان، تبدیل جریان گاز های ترکیبی و ترکیبی انجام می شود. مشتریان می توانند به راحتی نوع و محدوده گاز جریان سنج را با توجه به نیازهای فرآیند تغییر دهند.
علاوه بر این، با نوآوری فناوری در مواد محصول، سری Z500 به طور کامل نیازهای طراحی محصولات سبز RoHS را برآورده می کند تا ارزش محصول را برای مشتریان افزایش دهد.
جریان سنج سری Z500 با عملکرد بالا برای شما سورپرایز بیشتری خواهد داشت. سراسر جهان شاهد تولد این نوع جدید جریان سنج جرم است که به زودی کل صنعت نیمه هادی را تغییر خواهد داد.
*1 به گزارش مطالعه VLSI 2007 مراجعه کنید.
*2 گاز ترکیبی، عملکرد جریان ترکیبی.
ویژگی ها
دقت بالا: تنظیم جریان ± 1.0٪
دقت خطی MFC توسط منحنی تقریبی چند بندی جبران می شود، این فناوری تضمین دقت کنترل بالا را در محدوده های مختلف کنترل می کند. برای بهبود دقت کنترل انواع مختلف گازهای واقعی، HORIBA STEC سیستم های استاندارد اندازه گیری گاز را توسعه داد و داده های کالیبراسیون گازهای مختلف فرآیند را بر اساس آزمایش های زیادی جمع آوری کرد.
پاسخ با سرعت بالا
SEC-Z500X از جدیدترین سیستم "PID قابل تغییر" استفاده می کند که تضمین می کند تغییرات بین هر دو نقطه جریان تنظیم شده در عرض یک ثانیه انجام می شود.
گاز های ترکیبی، طرح های جریان ترکیبی
محصولات جدید HORIBA STEC به مشتریان اجازه می دهد تا به راحتی نوع گاز و جریان را در محل تغییر دهند. نرم افزار تنظیم Z500 ما ساده و آسان برای استفاده است. بهتر از این، این تغییرات حتی نیازی به جدا کردن MFC از سیستم ندارند. در نتیجه می توان تعداد لوازم جانبی مشتری را به طور قابل توجهی کاهش داد و در عین حال زمان و هزینه را صرفه جویی کرد.
تصاویر محصولات و سایر
جریان سنج جرم یک قطعه بسیار مهم در تجهیزات تولید نیمه هادی است. ثبات کار آن اغلب عامل کلیدی موفقیت و شکست فرآیند نیمه هادی است.
HORIBA STEC, به عنوان یک تولید کننده جریان سنج با بیش از 35 درصد سهم بازار جهانی*1، به طور مداوم محصولات با کیفیت بالا و چند منظوره را برای صنعت نیمه هادی ارائه می دهد. در حال حاضر، با استفاده از فناوری های جدید، HORIBA STEC یک نوع جدید کنترل کننده جریان جرم را در سراسر جهان معرفی می کند: سری Z500.
در مقایسه با مدل های قدیمی، سری Z500X پیشرفت جدیدی را به دست آورده است که آینده فناوری کنترل جریان را تغییر خواهد داد. همزمان با ارائه تمام قابلیت های مورد نیاز مشتری برای کنترل جریان، تبدیل جریان گاز های ترکیبی و ترکیبی انجام می شود. مشتریان می توانند به راحتی نوع و محدوده گاز جریان سنج را با توجه به نیازهای فرآیند تغییر دهند.
علاوه بر این، با نوآوری فناوری در مواد محصول، سری Z500 به طور کامل نیازهای طراحی محصولات سبز RoHS را برآورده می کند تا ارزش محصول را برای مشتریان افزایش دهد.
جریان سنج سری Z500 با عملکرد بالا برای شما سورپرایز بیشتری خواهد داشت. سراسر جهان شاهد تولد این نوع جدید جریان سنج جرم است که به زودی کل صنعت نیمه هادی را تغییر خواهد داد.
*1 به گزارش مطالعه VLSI 2007 مراجعه کنید.
*2 گاز ترکیبی، عملکرد جریان ترکیبی.
ویژگی ها
دقت بالا: تنظیم جریان ± 1.0٪
دقت خطی MFC توسط منحنی تقریبی چند بندی جبران می شود، این فناوری تضمین دقت کنترل بالا را در محدوده های مختلف کنترل می کند. برای بهبود دقت کنترل انواع مختلف گازهای واقعی، HORIBA STEC سیستم های استاندارد اندازه گیری گاز را توسعه داد و داده های کالیبراسیون گازهای مختلف فرآیند را بر اساس آزمایش های زیادی جمع آوری کرد.
پاسخ با سرعت بالا
SEC-Z500X از جدیدترین سیستم "PID قابل تغییر" استفاده می کند که تضمین می کند تغییرات بین هر دو نقطه جریان تنظیم شده در عرض یک ثانیه انجام می شود.
گاز های ترکیبی، طرح های جریان ترکیبی
محصولات جدید HORIBA STEC به مشتریان اجازه می دهد تا به راحتی نوع گاز و جریان را در محل تغییر دهند. نرم افزار تنظیم Z500 ما ساده و آسان برای استفاده است. بهتر از این، این تغییرات حتی نیازی به جدا کردن MFC از سیستم ندارند. در نتیجه می توان تعداد لوازم جانبی مشتری را به طور قابل توجهی کاهش داد و در عین حال زمان و هزینه را صرفه جویی کرد.
تصاویر محصولات و سایر
بازجویی آنلاین
