سنسور میکروفشار کوچک با اندازه نامی 8 میلی متر برای پژوهش توزیع میدان جریان هواشناسی طراحی شده است و به ویژه برای شرایط آزمایشی با اندازه ضخیم تر مدل یا حفره مدل مناسب است. روش سنتی برای هدایت فشار با دریچه اسکن با استفاده از کایلار، به دلیل از دست دادن فرکانس پاسخ کایلار، توزیع میدان جریان ثابت اندازه گیری می شود. روش مستقیم قرار دادن سنسورهای کوچک در محل می تواند توزیع دقیق و پویا میدان جریان را بدست آورد.
اجزای حساس به فشار CYG507 با استفاده از تکنولوژی پیشرفته MEMS طراحی و تولید می شوند. ساختار حساس به نیروی و طراحی طرح با استفاده از فناوری CAD، مدل مکانیکی، ساختار دو جزیره غشاء (میکرو فشار پایین) و ساختار ترکیبی جزیره غشاء پرتو (فوق میکرو فشار) را بهینه می کند تا اجزای حساس به فشار با مقیاس پایین، حساسیت بالا و خطی بودن عالی یکپارچه شوند، طراحی مکمل استرس و فناوری بسته بندی میکرو بدون استرس ثبات خوبی را در مقیاس به دست آورد.
CYG507 نوع فشار تفاوت سطحی است، دو نوع نوع سوژ و نصب موضوع دارد. اندازه گیری محصولات نوع سوژ بیش از 2.5kpa قطر خارجی 6 میلیمتر است، قطر خارجی زیر 2.5kpa 8 میلیمتر است، طول 18 میلیمتر است، موضوع نوع موضوع M10 × 1 است. شکل را در تصویر مشاهده کنید.
CYG507 از اجزای حساس استفاده می کند، بنابراین دارای سازگاری عالی با رسانه است. CYG507 دارای طراحی بسته بندی بدون لوله است، بنابراین دارای ویژگی های پویا عالی است و فرکانس موجود حتی با حداقل محدوده 500pa می تواند بالای 1000Hz باشد.
محدوده های اختیاری CYG507 0.5، 1، 1.6، 2.5، 4، 10، 16، 25kpa است.
1- پارامترهای شاخص عملکرد
| شاخص/درجه | دقت غیر خطی ±%FS |
تاخیر تکرار %FS |
ضریب دمای صفر ×10-4FS /℃ |
ضریب دمای حساسیت ×10-4FS /℃ |
سفر در صفر <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.2 | 5 | 5 | 0.3 |
| JB | 0.2 | 0.2 | 3 | 3 | 0.2 |
خروجی مقیاس کامل: حداقل 20mv مقدار معمولی 60mv حداکثر 100mv
امپدانس ورودی و خروجی: حداقل 2 kΩ مقدار معمولی 5 kΩ حداکثر 8 kΩ
جریان ورودی: 2mA یا 1.5mA
محدوده دمای کار: -40 ℃ ~ 105 ℃
محدوده دمای جبران: -10 ℃ ~ 60 ℃
ظرفیت بارگذاری بیش از حد: 300 درصد از اندازه بندی
8- نقشه اندازه:

