سنسور فشار فوق میکرو CYG502 با قطر خارجی نامی 2 میلی متر به طور خاص برای کاربردهایی که نیاز به اندازه نصب کوچکتر دارند در آزمایش های مکانیک مایعات طراحی شده است. این کوچکترین سنسور فشار در میان محصولات ما است.

اجزای حساس به فشار CYG502 با استفاده از فناوری پیشرفته MEMS (Miro Electronic Machinical Systems) طراحی و تولید می شوند. اجزای حساس به فشار مقاومت سیلیکونی سه بعدی یکپارچه و دو طرفه دارای دقت خطی عالی هستند. انسجام بالای پل استرس ویستون که با تزریق یون و تکنولوژی نورگرافی دقیق ساخته شده است، باعث می شود که انحراف دمای بسیار کمی داشته باشد. استفاده از فناوری وابستگی مستقیم سیلیکون سیلیکون، طراحی شکاف V معکوس، بهینه سازی اندازه فیلم تراشه را به دست آورد، اندازه کل تراشه را به اندازه 1 × 1 میلی متر کاهش دهد، در حالی که حساسیت خروجی هنوز هم می تواند به اندازه 100kpa برسد، پیشرفت کلیدی برای تحقق سنسورهای فوق العاده میکرو.

تغییر پیوند سیلیکون-شیشه ای در طراحی سنتی به پیوند سیلیکون-سیلیکون، اثر مطابقت حرارتی را بهبود می بخشد و ناپایداری صفر ناشی از استرس را کاهش می دهد.

در حال حاضر انواع محصولات اندازه گیری فشار مطلق در بازار وجود دارد و فشار سطحی در حال توسعه است.

سنسور فشار فوق میکرو نوع مطلق CYG502A به شکل سوژ است، قطر خارجی استاندارد Ф2.15mm، طول 18mm است، سنسور در محدوده اختیاری فشار مطلق 100، 160، 250، 400، 600، 1000، 1600، 2500، 4000kpa است.

سنسور فشار عایق CYG502A با اجزای حساس فشار مثبت را تحمل می کند. بنابراین، این فقط برای گازهای خشک که رسانه ای به عنوان غیر خوردگی و غیر هدایت کننده است، کاربردی است. این دارای منطقه دمای کار بسیار گسترده ای است که می تواند تا -55 ℃ ~ 120 ℃ باشد، همچنین دارای ویژگی های پویا فرکانس بالا بسیار عالی است، فرکانس ذاتی کمترین مقیاس اجزای حساس آن> 200kHz، زمان افزایش زیر میکروثانیه است.

1- پارامترهای شاخص عملکرد

خروجی کامل: حداقل 30mv مقدار معمولی 80mv حداکثر 130mv

امپدانس ورودی خروجی: حداقل 3 kΩ مقدار معمولی 5 kΩ حداکثر 7 kΩ

جریان کاری ورودی: 1.5mA (فشار اندازه گیری) 1mA (فشار مطلق) (منبع جریان ثابت)

محدوده دمای کار: -55 ℃ ~ 120 ℃

محدوده دمای جبران: -10 ℃ ~ 80 ℃

ظرفیت بارگذاری بیش از حد: 200 درصد از محدوده

حساسیت شتاب: <0.001٪ FS / g

نمودار اندازه: CYG502A